MEMS
MEMS一般指微機電系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技查看詳情>術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術，廣泛應用于高新技術產(chǎn)業(yè)，是一項關系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關鍵技術。
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MEMS芯片級裝配難在哪，該如何解決？
MEMS是微電子機械系統(tǒng)的簡稱，尺寸在毫米乃至微米級別，應用非常廣泛，在5G通訊、安防監(jiān)控、工業(yè)自動化、汽車電子、消費電子等諸多領域，目前市面上的電子產(chǎn)品幾乎都應用了MEMS器件。MEMS器件的主要優(yōu)
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硅時代電子科技為您解答 mems加工技術工藝與ic工藝區(qū)別
MEMS加工技術工藝是根據(jù)產(chǎn)品需要，在各類襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍寶石襯底等等）制作微米級微型結構的加工工藝。
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