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真空系統(tǒng)中上下游模式同時(shí)使用的雙向控制新技術(shù)

3． 下游控制模式（Downstream Model）

如圖3－1所示，下游控制模式是一種控制真空系統(tǒng)內(nèi)部壓力的方法，其中抽氣速度是可變的，通常由真空泵和腔室之間的控制閥實(shí)現(xiàn)。

真空度（壓力）控制：上游模式和下游模式的特點(diǎn)以及新技術(shù)

圖3－1 下游控制模式示意圖

下游控制模式是維持真空系統(tǒng)下游的壓力，增加流量以增加壓力，減少流量以減少壓力，因此，這稱為直接作用，這種控制器配置通常稱為標(biāo)準(zhǔn)壓力調(diào)節(jié)器。

在真空度（壓力）下游模式控制期間，控制閥將以特定的速率限制真空泵抽出氣體，同時(shí)還與控制器通信。如果從控制器接收到不正確的輸出電壓（意味著壓力不正確），控制閥將調(diào)整抽氣流量。壓力過高，控制閥會提供抽氣流量，壓力過低，控制閥會降低流量。

下游模式具有以下特點(diǎn)：

（1）下游模式作為目前最常用的控制模式，通常在各種條件下都能很好地工作。

（2）但在下游模式控制過程中，其有效性有時(shí)可能會受到“外部”因素的挑戰(zhàn)，如入口氣體流速的突然變化或等離子體事件的開啟或關(guān)閉。此外，某些流量和壓力的組合會迫使節(jié)流閥在等于或超過其預(yù)期控制范圍的極限的位置上運(yùn)行。在這種情況下，精確或可重復(fù)的壓力控制都是不可行的�；蛘撸瑝毫刂瓶赡苁强尚械�，但不是以快速有效的方式，結(jié)果造成產(chǎn)品的產(chǎn)量和良率受到影響。

（3）在下游模式中，會在更換氣體或等待腔室內(nèi)氣體沉降時(shí)引起延遲。

4． 雙向控制模式（Bidirectional Model）

通過上述兩種控制模式的特點(diǎn)可以看出，兩種模式各有優(yōu)缺點(diǎn)。目前在真空度控制中常用的方法是以下游控制模式為主控方法，同時(shí)在真空系統(tǒng)的上游設(shè)置幾個(gè)控制檔位來控制進(jìn)氣流量，由此來最大限度發(fā)揮兩種模式的優(yōu)點(diǎn)，但這種控制方式還無法實(shí)現(xiàn)全自動化。

隨著自動化控制技術(shù)的發(fā)展，目前上海依陽公司已經(jīng)開發(fā)出雙向自動控制技術(shù)，其結(jié)構(gòu)圖4－1如所示。

真空度（壓力）控制：上游模式和下游模式的特點(diǎn)以及新技術(shù)

圖4－1 雙向控制模式示意圖

這種雙向控制模式可以最大限度發(fā)揮控制優(yōu)勢，節(jié)省時(shí)間和成本，并提高真空工藝的效率和質(zhì)量。

真空度（壓力）控制：上游模式和下游模式的特點(diǎn)以及新技術(shù)

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