同樣制造光刻機，日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊？
2021-03-17 09:19
快科技
關(guān)注
ASML已經(jīng)成為了全球第一大光刻機廠商，而且最頂尖的EUV光刻機更是獨家壟斷。
日前與媒體交流時，ASML技術(shù)開發(fā)副總裁Tony Yen確認(rèn)了此前外界的猜測，他表示EUV光刻機目前有三大客戶，分別是臺積電、三星和Intel。
至于同樣制造光刻機的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊，Yen指出，我們從2000年左右開發(fā)EUV，并決定大批量生產(chǎn)這種光刻機。
日本人沒有這么做，因為他們覺得系統(tǒng)太復(fù)雜。實際上，我們當(dāng)時也不是100％確信EUV光刻機會成功。
當(dāng)然，Yen提到，EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer（已被ASML收購）等企業(yè)參與，其中蔡司獨家向ASML出售半導(dǎo)體相關(guān)的曝光產(chǎn)品。
據(jù)官方披露的數(shù)據(jù)，去年全球光刻機總銷售量為413臺，其中ASML銷售258臺占比62％，佳能銷售122臺占比30％，尼康銷售33臺占比8％。從光刻機類型來看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i－line（份額69％）。
作者：萬南來源：快科技
分享
聲明：
本文系OFweek根據(jù)授權(quán)轉(zhuǎn)載自其它媒體或授權(quán)刊載，目的在于信息傳遞，并不代表本站贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，如有新聞稿件和圖片作品的內(nèi)容、版權(quán)以及其它問題的，請聯(lián)系我們。
請輸入評論內(nèi)容...
請輸入評論/評論長度6~500個字
最新活動更多
-
7月8日立即報名>> 【在線會議】英飛凌新一代智能照明方案賦能綠色建筑與工業(yè)互聯(lián)
-
7月22-29日立即報名>> 【線下論壇】第三屆安富利汽車生態(tài)圈峰會
-
7.30-8.1火熱報名中>> 全數(shù)會2025（第六屆）機器人及智能工廠展
-
7月30-31日報名參會>>> 全數(shù)會2025中國激光產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展峰會
-
即日-2025.8.1立即下載>> 《2024智能制造產(chǎn)業(yè)高端化、智能化、綠色化發(fā)展藍(lán)皮書》
-
即日-8.30免費下載>>> 福祿克在線溫度監(jiān)測應(yīng)用案例手冊
