訂閱
糾錯(cuò)
加入自媒體
當(dāng)前位置： OFweek 智能制造網(wǎng)   >   智能生產(chǎn)   >  正文

同樣制造光刻機(jī)，日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊(duì)？

2021-03-17 09:19
快科技
關(guān)注

ASML已經(jīng)成為了全球第一大光刻機(jī)廠商，而且最頂尖的EUV光刻機(jī)更是獨(dú)家壟斷。

日前與媒體交流時(shí)，ASML技術(shù)開發(fā)副總裁Tony Yen確認(rèn)了此前外界的猜測，他表示EUV光刻機(jī)目前有三大客戶，分別是臺積電、三星和Intel。

至于同樣制造光刻機(jī)的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊(duì)，Yen指出，我們從2000年左右開發(fā)EUV，并決定大批量生產(chǎn)這種光刻機(jī)。

日本人沒有這么做，因?yàn)樗麄冇X得系統(tǒng)太復(fù)雜。實(shí)際上，我們當(dāng)時(shí)也不是100％確信EUV光刻機(jī)會(huì)成功。

當(dāng)然，Yen提到，EUV光刻機(jī)的成功還有蔡司、Cymer（已被ASML收購）等企業(yè)參與，其中蔡司獨(dú)家向ASML出售半導(dǎo)體相關(guān)的曝光產(chǎn)品。

據(jù)官方披露的數(shù)據(jù)，去年全球光刻機(jī)總銷售量為413臺，其中ASML銷售258臺占比62％，佳能銷售122臺占比30％，尼康銷售33臺占比8％。從光刻機(jī)類型來看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i－line（份額69％）。

作者：萬南來源：快科技

聲明： 本文系OFweek根據(jù)授權(quán)轉(zhuǎn)載自其它媒體或授權(quán)刊載，目的在于信息傳遞，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，如有新聞稿件和圖片作品的內(nèi)容、版權(quán)以及其它問題的，請聯(lián)系我們。

發(fā)表評論

共0條評論，0人參與

請輸入評論內(nèi)容...

請輸入評論/評論長度6~500個(gè)字

您提交的評論過于頻繁，請輸入驗(yàn)證碼繼續(xù)

  • 看不清，點(diǎn)擊換一張  刷新

暫無評論

暫無評論

    文章糾錯(cuò)
    x
    *文字標(biāo)題：
    *糾錯(cuò)內(nèi)容：
    聯(lián)系郵箱：
    *驗(yàn) 證 碼：

    粵公網(wǎng)安備 44030502002758號