前言：

最近美國的禁令讓中國整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)都蒙上了一層陰影。而最為要緊的是光刻機(jī)的國產(chǎn)化進(jìn)程。

芯片制造設(shè)備比重突出

據(jù)Semi統(tǒng)計(jì)，2019年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場達(dá)597．4億美元，設(shè)備投資占晶圓廠整體資本支出的70％－80％，其中用于芯片制造的設(shè)備占半導(dǎo)體設(shè)備總支出的81％。

光刻、刻蝕、薄膜沉積設(shè)備三大設(shè)備成為推動(dòng)28nm及以下先進(jìn)工藝發(fā)展的主要力量，分別占半導(dǎo)體晶圓處理設(shè)備的23％、24％、18％。

與產(chǎn)品相關(guān)的供應(yīng)商提供直接用于生產(chǎn)光刻系統(tǒng)的材料、設(shè)備、零部件和工具，這個(gè)類別包括790家供應(yīng)商，占ASML總開支的66％。

逃不過美國的緊箍咒限制

2012年ASML收購EUV光源提供商Cymer，此前Cymer就和ASML合作已久；2016年ASML公司取得光學(xué)鏡片龍頭德國蔡司24．9％的股份，以加快推進(jìn)更大數(shù)值孔徑（NA）的EUV光學(xué)系統(tǒng)。這些收購使得ASML幾乎參與了整個(gè)EUV光刻上游產(chǎn)業(yè)鏈。

但收購美國企業(yè)的過程使ASML必須同意在美國建立一所工廠和一個(gè)研發(fā)中心，以此滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求。

另外，還需要保證55％的零部件均從美國供應(yīng)商處采購，并接受定期審查，這也為日后ASML向中國出口光刻機(jī)受到美國管制埋下伏筆。

在光刻機(jī)的研究初期，是美國的英特爾聯(lián)合美國三大國家實(shí)驗(yàn)室再加上數(shù)百名當(dāng)時(shí)頂尖的科學(xué)家和工程師研究出來的，但是美國本土并沒有強(qiáng)大的光刻機(jī)集團(tuán)，于是ASML就被美國借雞生蛋，所以其實(shí)光刻機(jī)的很多核心技術(shù)都是美國的。

在美國禁令之下，ASML根本沒有反抗的余地，若不是這個(gè)原因，ASML怎么可能會(huì)放棄中國這個(gè)龐大的市場。

我國光刻機(jī)進(jìn)步中底氣不足

目前所有中國企業(yè)中，只有中芯國際向ASML訂購了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，原計(jì)劃于2019年交付，但由于2018年底ASML的元件供應(yīng)商Prodrive工廠的部分庫存、生產(chǎn)線被火災(zāi)摧毀；

再加上2020年疫情原因，直到現(xiàn)在ASML的EUV設(shè)備還未向中芯國際交付，目前預(yù)計(jì)這批設(shè)備最快在2020年底前完成裝機(jī)。

EUV光刻機(jī)單價(jià)達(dá)到了驚人的1．15億歐元／臺(tái)，約合1．3億美元，9．2億人民幣，是浸沒式光刻機(jī)價(jià)格的兩倍。

雖然我們花了重金請(qǐng)了行業(yè)內(nèi)頂尖的人才，但是基礎(chǔ)的芯片工程師卻嚴(yán)重匱乏。

做芯片就好比建大樓，我們雖然能花錢搭鋼架，但是沒有混凝土填充進(jìn)來，這個(gè)樓依然蓋不好。

高端光刻機(jī)和高端航空發(fā)動(dòng)機(jī)、高端極精密數(shù)控機(jī)床等，涉及的領(lǐng)域很多，設(shè)計(jì)、材料、加工、工藝、檢測、標(biāo)準(zhǔn)等等，這些都是靠人才、考研究、技術(shù)積累，靠時(shí)間的投入，當(dāng)然也要大量的資金。

目前參與國內(nèi)光刻機(jī)研發(fā)的有高校、企業(yè)和研究所，力量分散，而選擇的技術(shù)路徑難度也過高。

同時(shí)，當(dāng)下更要補(bǔ)齊我國在光刻機(jī)領(lǐng)域人才的缺失。2000年大批留學(xué)的半導(dǎo)體人士懷揣家國情懷選擇回國發(fā)展，帶來了一個(gè)繁榮的產(chǎn)業(yè)開端。

但可惜的是后期人才培育沒有跟上步伐，看上去總想著靠錢挖人，這并不能建起一個(gè)扎實(shí)的產(chǎn)業(yè)人才基礎(chǔ)。