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流量傳感器在微流體控制設(shè)備液體流量測量

2023-07-12 11:55

近年來在生物體液活檢領(lǐng)域微流控技術(shù)受到了極大關(guān)注。微流控(microfluidics)是使用微管道(尺寸為數(shù)十到數(shù)百微米)處理或操縱微小流體(體積為微升)的系統(tǒng)所涉及的科學(xué)和技術(shù)，是一門涉及化學(xué)、流體物理、微電子、新材料、生物學(xué)和生物醫(yī)學(xué)工程的新興交叉學(xué)科。

在微流控實(shí)驗(yàn)過程中經(jīng)常需要實(shí)時的了解實(shí)驗(yàn)通路上的液體流量是多少以及液體流量的實(shí)時變化，以便實(shí)驗(yàn)人員能夠及時的采取實(shí)驗(yàn)方法達(dá)到做需要的實(shí)驗(yàn)?zāi)康�。而高精度的微流速控制技術(shù)是其中的難點(diǎn)之一，另外由于體液活檢的特點(diǎn)需要檢測系統(tǒng)以非接觸方式對體液進(jìn)行快速、精準(zhǔn)的檢測。

而檢測系統(tǒng)中與體液相接觸的部分一般以耗材形式出現(xiàn)，一次性的使用對成本的要求更高。目前，測量微流體實(shí)驗(yàn)通路上的液體流量主要使用液體流量傳感器，工采網(wǎng)ISWEEK公司品牌氣體流量傳感器AFE-01的流量芯片，是歐洲原始生產(chǎn)廠家代工的公司。開發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，可以精確檢測達(dá)到0.001m/s的氣體流速變化。生產(chǎn)出體積只有5 mm x 3.5 mm x 0.2 mm的芯片。AFE-01流量傳感器由四個鉑薄膜電阻組成，基于流速的函數(shù)，通過了解熱傳遞，可以從維持恒定溫度所需的電壓補(bǔ)償量來確定流速。同時AFE-01流量芯片因?yàn)轶w積小且耐高溫（-20°C~150°C的工作環(huán)境)，很好的溫度補(bǔ)償電路，非常適合應(yīng)用在發(fā)動機(jī)進(jìn)氣流量計(jì)中使用。

原文標(biāo)題 : 流量傳感器在微流體控制設(shè)備液體流量測量